Направление «Нанотехнологии и микросистемная техника» обеспечивает подготовку специалистов исследователей и разработчиков в таких областях как: микро- и наносистемная системная техника; гетероструктуры и наноструктуры для опто- и наноэлектроники; физика и технология нанокомпозитов; оптическая и емкостная спектроскопия квантово-размерных систем; физика и технология приборов широкозонных полупроводников. Благодаря интенсивным исследованиям в указанных областях в мировом рейтинге лидеров в сфере нанотехнологий СПбГЭТУ занимает пятое место.
